ПОВЕРХНОСТНАЯ ДИФФУЗИЯ

термином «поверхностная диффузия» обычно обозначают диффузию частиц (атомов, молекул или кластеров), адсорбированных на поверхности или составляющих ее, по поверхности образца или подложки

Диффундирующие по поверхности частицы могут принадлежать материалу подложки (в этом случае говорят о поверхностной самодиффузии) или быть чужеродными (в этом случае говорят о поверхностной гетеродиффузии).В большинстве случаев адсорбированная частица становится подвижной из-за термической активации, и ее движение имеет вид случайного блуждания. В присутствии градиента концентрации (в более общем случае - градиента химического потенциала) случайное блуждание большого числа частиц приводит к их усредненному диффузионному движению в направлении, противоположном градиенту. На процесс диффузии влияют многие факторы, такие как взаимодействие между диффундирующими частицами, образование поверхностных фаз (реконструкций), присутствие дефектов и т. д. Поверхностная диффузия играет определяющую роль в процессах роста тонких пленок, формирования наноструктур на поверхности подложек и спекания нанопорошков.

• Зотов Андрей Вадимович, д.ф.-м.н.
• Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.

1. Введение в физику поверхности: Пер. с англ. / Оура Кендзиро, Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Зотов А.В., Катаяма М. - М. Наука, 2006. - 490 с.
2. Seebauer H.P.E.G., Jung M.Y.L. Surface diffusion on metals, semiconductors, and insulators // Physics of covered solid surfaces. Ed. By H.P. Bonzel. - B.: Springer, 2001. - Chap. 3.11.